温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开的光照射装置具备：光照射部，在内部配置有发光元件，具备具有该发光元件的光能够通过的光照射面的壳体；和气体供给部，具备与所述壳体的所述光照射面的一部分连接的流路。优选所述流路具有相互连接的多个壁。优选所述光照射面具有所述发光元件的光能够...
该专利属于京瓷株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过京瓷株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。