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铁酸铋膜材料、低温在硅基底上集成制备铁酸铋膜的方法及应用技术
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文档序号:25228346
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本发明公开了铁酸铋膜材料、低温在硅基底上集成制备铁酸铋膜的方法及应用。其方法为:在300~400℃条件下,在基体表面由下向上依次磁控溅射底电极、缓冲层、铁酸铋膜,降低温度至室温,在铁酸铋膜表面磁控溅射顶电极,所述缓冲层的材质为能够与铁酸铋晶...
该专利属于欧阳俊所有,仅供学习研究参考,未经过欧阳俊授权不得商用。
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