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本发明属于太赫兹功能器件领域，具体提供了一种基于多棱台阵列的硅基全光控太赫兹波调制器及制备方法和测试方法，包括硅衬底、多棱台阵列、棱台上表面的钝化层。本发明中，多棱台阵列能减少激光反射率，提高对激光的利用率；多棱台阵列不会增加光生载流子的横...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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