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一种微加工振动陀螺仪，其具有两个或多个被悬置在平面基板上的共面的可移动块。将两个垂直的轴（ｘ和ｙ）限定在基板平面内，而将第三轴，即ｚ轴或输入轴，限定为垂直于基板平面。所述两个块沿ｘ轴的移动通过静电耦合装置耦合，使得沿ｘ轴的同相模式和反相模式...该专利属于BEI科技公司;康蒂-特米克微电子有限公司;大陆-特韦斯贸易合伙股份公司及两合公司所有，仅供学习研究参考，未经过BEI科技公司;康蒂-特米克微电子有限公司;大陆-特韦斯贸易合伙股份公司及两合公司授权不得商用。