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本发明涉及一种用于检查或校准高精度试件（１）上的基准结构的角相关对准的方法。在将试件（１）设在保持件（３）上之后，进行光学单元（８、８ａ、８ｂ、８ｃ）和／或试件（１）的基准结构的预对准，使得试件光束（１０、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ）至...
该专利属于莱卡地球系统公开股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过莱卡地球系统公开股份有限公司授权不得商用。

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