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一种微型陀螺仪制造技术
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文档序号:2520896
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一种微型陀螺仪,其特征在于:该陀螺仪由驱动层(1)、结构层(2)和检测层(3)三者键合而成,驱动层(1)位于底部,检测层(3)位于顶部; 在驱动层(1)与结构层(2)的键合面上,对称放置第一微型电加热器(4a)和第二微型电加热器(4b...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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