下载一种微型陀螺仪的技术资料

文档序号:2520896

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一种微型陀螺仪,其特征在于:该陀螺仪由驱动层(1)、结构层(2)和检测层(3)三者键合而成,驱动层(1)位于底部,检测层(3)位于顶部;    在驱动层(1)与结构层(2)的键合面上,对称放置第一微型电加热器(4a)和第二微型电加热器(4b...
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