下载级联雪崩倍增光电二极管的技术资料

文档序号:25201769

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本专利公开了一种级联雪崩倍增光电二极管,在衬底上有衬底氧化层,在衬底氧化层上从左到右依次有p型电极层I、p型光吸收层、电场调控层I、雪崩倍增层I、n型过渡层、低杂质浓度的电子行进层、电场调控层II、雪崩倍增层II、n型电极层,p型电极层II...
该专利属于中国科学院上海技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。

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