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本实用新型公开了一种刻蚀槽，包括有槽体和硅片输送机构，硅片输送机构由若干个依次间隔连接的送料单元构成，每个送料单元包括有两个支撑板和位于两个支撑板之间的若干辊筒，支撑板包括有底座部分和挡板部分，辊筒的两端分别安装有活动块，挡板部分设有安装槽...
该专利属于浙江鸿禧能源股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江鸿禧能源股份有限公司授权不得商用。

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