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一种高性能谐振硅微机械陀螺制造技术
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文档序号:2519819
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一种高性能谐振硅微机械陀螺主要包括:质量块、蛇型支撑梁、两级杠杆放大机构、悬臂解耦机构、DETF(double-ended tuning fork)、驱动电极、检测电极几部分。结构为轴对称图形,质量块都显“回”字型。质量块里是两级杠杆放大机...
该专利属于北京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京航空航天大学授权不得商用。
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