下载用于提拉晶体生长的混合坩埚组件的技术资料

文档序号:25196171

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一种用于使用提拉工艺生长晶锭的坩埚组件包含外坩埚和内坩埚。所述内坩埚安置在所述外坩埚内,并具有经配置以用于在所述外坩埚与所述内坩埚之间流体连通的通道。所述内坩埚是电弧熔融坩埚,且所述外坩埚是浇铸坩埚。...
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