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本发明涉及一种光栅耦合器及其制作方法、光学相控阵装置。该光栅耦合器包括硅基底；硅氧化物层，形成于所述硅基底上；及光栅层，形成于所述硅氧化物层上；其中，所述光栅层包括同层设置的光波导、耦合光栅及反射光栅，所述光波导、反射光栅分别设置于所述光栅...
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