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自相关外差反射计及其实现方法技术
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文档序号:2517729
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本发明贯注于一种用于根据外差光学信号获取高精确的相位偏移信息的自参考外差反射计系统和方法,不用一个参考晶片来校正。该自参考外差反射计在外差反射(HR)模式和自参考(SR)模式之间快速转换,其中在HR模式使用了包括以ω和ω+Δω的分离角频率极...
该专利属于真实仪器公司所有,仅供学习研究参考,未经过真实仪器公司授权不得商用。
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