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描述了一种接触感测探头装置（２），包括工件接触触针（６）、以机械方式连接到触针（６）的换能器（８；１０８）以及用于将交流电施加到换能器（８；１０８）上以便引起触针（６）发生振动的振荡器（３０，３１）。还提供有接触传感器，用于监测施加到换能器...
该专利属于瑞尼斯豪公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞尼斯豪公司授权不得商用。

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