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本发明涉及芯片质量检测领域，公开了一种芯片检测装置，包括基台、真空罩、控制系统、抽真空系统和变温系统，所述控制系统包括设置于所述基台上的主控板，所述主控板包括检测区，在所述检测区内设置有用于插接待检测芯片的芯片插座，所述真空罩下端具有开口、...
该专利属于长沙南道电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长沙南道电子科技有限公司授权不得商用。

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