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一种激光双焦干涉球面轮廓仪，其特征是设有双焦透镜组４和五维扫描工作台６。同现有技术比较，其优点是仪器抗干扰能力强，适用范围广，检测精度高，如能对各种反射率的球面微观轮廓和平面微观轮廓进行精密检测，纵向分辩率为０．１ｎｍ，横向分辩率为１μｍ。...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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