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微动位移传感器制造技术
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文档序号:2516079
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一种微动位移传感器,包括探头(1)以及检测电路(2);所述探头(1)包括探头体(11),安装于探头体(11)内的感应线圈(12)以及磁体(13);还包括有弹性传感机构(15),其固定部(151)固定于磁体(13)上,探测部(152)伸出探头...
该专利属于高为粮所有,仅供学习研究参考,未经过高为粮授权不得商用。
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