下载一种金刚石单晶生长装置的技术资料

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本实用新型属于金刚石单晶生长技术领域,尤其是一种金刚石单晶生长装置,针对现有的CVD金刚石单晶的进展较慢,无法在较短的时间和低成本上获得大尺寸CVD金刚石单晶,主要是在人工合成的过程中对压力控制不准确的问题,现提出如下方案,其包括壳体,所述...
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