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本申请公开了背钝化太阳能电池制备方法，包括获得太阳能电池的前驱体，前驱体包括由上至下依次层叠的隧穿层、发射极层、P型硅片；将前驱体置于链式或板式机台的炉腔，控制炉腔温度在170℃至190℃之间，并向炉腔内通入臭氧，在前驱体的下表面形成氧化硅...该专利属于浙江正泰太阳能科技有限公司;海宁正泰新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江正泰太阳能科技有限公司;海宁正泰新能源科技有限公司授权不得商用。