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文档序号:25125194

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本发明涉及钝化接触型太阳能电池及其制造方法。该方法包括以下步骤:(i)制备基片,该基片包含:第一半导体层,位于第一半导体层上的隧道氧化物层,位于隧道氧化物层上的第二半导体层,位于第二半导体层上的第一绝缘层,以及在隧道氧化物层另一侧位于第一半...
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