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本发明提供一种载板的清洗方法，用于制备硅基异质结太阳能电池的PECVD反应腔内，所述载板为表面开槽的实心载板，该清洗方法包括以下步骤：第一步，将一掩模板放置于空载的所述载板的槽体内；第二步，将所述载板及掩模板传入所述PECVD反应腔内，并进...该专利属于上海理想万里晖薄膜设备有限公司;理想万里晖真空装备(泰兴)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海理想万里晖薄膜设备有限公司;理想万里晖真空装备(泰兴)有限公司授权不得商用。