温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明题为“背面金属光刻法图案化管芯切割系统和相关方法”。管芯切割系统和相关方法的实施方式可包括：在衬底的第一侧面上形成多个管芯；在衬底的第二侧面上形成背面金属层；在背面金属层之上施加光致抗蚀剂层；沿衬底的管芯道将光致抗蚀剂层图案化；以及以...
该专利属于半导体元件工业有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过半导体元件工业有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。