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本申请提供了一种监测系统，用于监测MOCVD系统中各个设备的工作，该监测系统包括：第一监测子系统，包括主参数控制模块和从参数控制模块，从参数控制模块设置在第一设备中，从参数控制模块用于对第一设备进行监测且将监测的结果发送至主参数控制模块；第...
该专利属于东泰高科装备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东泰高科装备科技有限公司授权不得商用。

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