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本发明公开了一种石英双炉门结构，包括内密封石英炉门、石英包、保温材料、外密封炉门、炉口密封垫、炉门水冷进出水嘴、炉门腔室进气管、双炉门驱动机构安装座、弹性部件、炉门腔室、双腔室石英工艺管、冷却水道和压力平衡气口，所述双腔室石英工艺管的左端设...
该专利属于青岛赛瑞达电子装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛赛瑞达电子装备股份有限公司授权不得商用。

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