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本发明用于利用喷雾使品质稳定的膜在基板的表面生长。本发明公开的成膜装置使膜在基板的表面外延生长。该成膜装置具有：载置所述基板的台；对所述基板进行加热的加热器；喷雾供给源，其供给溶剂中溶解有所述膜的材料的溶液的喷雾；加热气体供给源，其供给加热...该专利属于丰田自动车株式会社;国立大学法人京都工芸纤维大学所有，仅供学习研究参考，未经过丰田自动车株式会社;国立大学法人京都工芸纤维大学授权不得商用。