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本发明公开了一种利用隧道效应原理，测量物体的微位移或微形变的方法。其特征是测量系统由被测样品、测量针尖、压电陶瓷、电压表、偏压电源、放大器等组成负反馈闭环测量系统。分辨率可达０．１－１ｎｍ。...
该专利属于武汉工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过武汉工业大学授权不得商用。

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