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本发明的小球球径差测量仪,是用于圆珠笔芯中球珠、微型轴承滚珠以及各种小球形有高质量要求的小球球形测量。主要由含有光学尖劈工作台的光学测量系统和列阵采数及计算机数据处理系统三部分所构成。具有测量精度高(测量精度可达0.05微米)、速度快(每粒...该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。
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本发明的小球球径差测量仪,是用于圆珠笔芯中球珠、微型轴承滚珠以及各种小球形有高质量要求的小球球形测量。主要由含有光学尖劈工作台的光学测量系统和列阵采数及计算机数据处理系统三部分所构成。具有测量精度高(测量精度可达0.05微米)、速度快(每粒...