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本发明公开了一种高精度大孔径移相式数字平面干涉仪，它主要由立式菲索干涉仪、扩展装置、移相器及驱动源、控制源、图像采集系统和微机等组成。其优点是仪器的有效检测孔径为Φ２４５ｍｍ，准确度为λ／５０（峰－谷值），系统光学质量为λ／２０，扩展孔径达...
该专利属于南京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京理工大学授权不得商用。

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