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光学膜厚测量方法和成膜方法是在基片上淀积多层膜时，把监测光照射到基片上，根据其反射强度的极值来测量膜厚。淀积的多层膜包括第１膜和第２膜，第１膜在规定波长范围内具有９８％以上的反射率；第２膜在上述第１膜上形成并且在上述规定波长范围内具有１００...
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