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使用波数域反射技术及背景振幅减少和补偿的多层共焦干涉显微术制造技术
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下载使用波数域反射技术及背景振幅减少和补偿的多层共焦干涉显微术的技术资料
文档序号:2511025
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一物体(112)内和/或上的一区域的在焦图象通过以下方法被从离焦图象分离出来,从而既减小了该物体的图象信息中的误差:从一个宽带点光源(90)产生一个探测光束(P22B)和一个参考光束(R22B);产生参考光束的反对称空间性质(R32B);把...
该专利属于探索研究院所有,仅供学习研究参考,未经过探索研究院授权不得商用。
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