下载一种化学气相沉积炉焦油冷凝装置的技术资料

文档序号:25094465

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本实用新型公开了一种化学气相沉积炉焦油冷凝装置,包括筒状的本体,所述本体上部开设有进气口,下部开设有出油口和出气口;所述本体中设有内层通道、位于通道外层的中层环形腔以及位于中层环形腔外层的外层环形腔;进气口与外层环形腔的上部相连通,所述外层...
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