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一种利用飞秒激光散斑相关法测量微小位移的装置和方法。装置构成主要包括飞秒激光源和CCD摄象机及计算机控制和处理系统,所述的方法利用该装置将物体移动前后的散斑场分别用CCD探测器记录下来并储存于计算机中,对移动前的散斑场和移动后的散斑场进行相...该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。
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一种利用飞秒激光散斑相关法测量微小位移的装置和方法。装置构成主要包括飞秒激光源和CCD摄象机及计算机控制和处理系统,所述的方法利用该装置将物体移动前后的散斑场分别用CCD探测器记录下来并储存于计算机中,对移动前的散斑场和移动后的散斑场进行相...