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本发明公开一种改进型硅片承载装置，包括承载框以及多个承载盘；所述承载框包括多条横支承杆以及两组导轨组杆，所述多条横支承杆等间距设置，每两条横支承杆以及两组导轨组杆所围成的空间构成承载槽；所述多条横支承杆之间均设有多条支撑固定杆；所述承载盘包...
该专利属于深圳市石金科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市石金科技股份有限公司授权不得商用。

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