下载自动消像散电子枪及电子枪自动消像散方法的技术资料

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本发明公开自动消像散电子枪及电子枪自动消像散方法,采用分裂式罗柯夫斯基线圈作为检测元件,结合脉冲电子束技术,实现了电子束斑点形貌的无接触检测。分裂式罗柯夫斯基线圈以差模信号输出,以检测信号的最小值为消像散装置校正目标,既简化了检测信号的处理...
该专利属于桂林狮达技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过桂林狮达技术股份有限公司授权不得商用。

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