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本发明提供了一种使引入位移测量的非线性误差最小的干涉仪。在一种实施例中，通过在参考光束和测量光束各自通往检测器的大部分光路上将它们隔离开来，并通过对输入干涉仪的每个光束使用单独的分振幅非偏振分束器，减小了非线性误差。此外，干涉仪可调整到任意...
该专利属于安捷伦科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安捷伦科技有限公司授权不得商用。

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