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一种用于高重复率气体放电激光器的光谱分析模块，用于以４０００Ｈｚ和４０００Ｈｚ以上的脉冲重复率在脉冲到脉冲的基础上测量带宽，所述气体放电激光器具有能量大于或等于每脉冲１５ｍＪ的脉冲输出光束、飞米带宽精度和数十飞米带宽精度范围的亚纳米带宽调谐...
该专利属于西默股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西默股份有限公司授权不得商用。

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