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一种形貌测量方法（ｓｕｒｆａｃｅ　　ｐｒｏｆｉｌｅ　　ｍｅａｓｕｒｉｎｇ　　ｍｅｔｈｏｄ），是以一宽频光源经分光镜分束后，分别照射待测物体表面与一参考面，由两个表面的反射光产生干涉，以一固定步幅，改变物体表面与分光镜的距离，产生一高度值对应...
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