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一种气泡定点生长的热气泡驱动微泵及制备方法，属于微流控技术领域。本发明是一种用于微流体输送的热气泡驱动微泵，具体为采用MEMS微加工技术制作的一种利用高频电流无线感应加热的热汽泡驱动微泵，在微泵内设有微加热盘，微加热盘上设计按一定规则形状排...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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