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一种叠层驱动结构及其制作方法技术
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文档序号:25079805
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本发明公开了一种叠层驱动结构,包括结构支撑层、驱动层、第一导电层和第二导电层;所述结构支撑层,由聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)框架构成;所述驱动层,由预拉伸的介电弹性体薄膜构成;所述第一导电层和第二导电层,均由涂抹在介电弹性体薄膜上的碳膏和...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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