下载六边形互扣式电极三维硅探测器的技术资料

文档序号:25072417

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本实用新型公开了一种六边形互扣式电极三维硅探测器,包括六棱柱状的隔离硅体,隔离硅体的中心轴向设有中心电极,隔离硅体的六个侧面设有上下拼接的第一沟槽电极和第二沟槽电极,第一沟槽电极由两块C形沟槽电极卡扣而成,第一沟槽电极和中心电极的顶部设有金...
该专利属于湘潭大学所有,仅供学习研究参考,未经过湘潭大学授权不得商用。

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