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本实用新型提供一种射频离子源启动灯丝装置，包括进气管、上法兰绝缘压板、上法兰盖板、压紧螺栓、下法兰绝缘压板、钼棒、绝缘陶瓷、固定钼座、钼座法兰、真空密封圈、冷却水管和法兰盖板；所述进气管和钼座法兰及钼棒焊接成一体安装在下法兰绝缘压板上，整体...
该专利属于中国科学院合肥物质科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院合肥物质科学研究院授权不得商用。

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