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本实用新型公开了一种改进的低温真空炉工件托盘，涉及真空炉工件托盘的技术领域，包括真空炉体、工件托盘、冷却水管和连接法兰，冷却水管为一体式结构，冷却水管包括依次相连通的进水管、冷却管和出水管，工件托盘的底部布置有冷却管，进水管和出水管均贯穿真...
该专利属于上海三井真空设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海三井真空设备有限公司授权不得商用。

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