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用于蒸汽发生和薄膜沉积的设备和方法技术
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文档序号:25003632
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用于发生蒸汽的设备和方法,具有紧凑的汽化器设计,并将用于汽化的气体和液体混合物暴露于降低的最高温度。气体和液滴流过金属壳体(110),该金属壳体(110)被构造为加热气体和液滴混合物以汽化,该方法包括引导气体和液滴混合物通过金属壳体的入口(...
该专利属于MSP公司所有,仅供学习研究参考,未经过MSP公司授权不得商用。
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