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本发明提供一种透明导电氧化物薄膜的制备方法，包括：按照第一预设条件按第一预设时间进行沉积，获得第一层子TCO薄膜的步骤，所述第一预设条件包括第一氧氩比；按照第二预设条件在所述第一层子TCO薄膜上按第二预设时间进行沉积，获得第二层子TCO薄膜...
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