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本发明公开了一种多会聚角混合扫描电子显微成像方法，属于显微成像技术领域。本发明的方法为，利用不同会聚角的荷电粒子束对目标物体进行扫描得到若干个衍射图案集，将不同会聚角的荷电粒子束对应的衍射图案集进行混合得到混合衍射图案集，再采用重构算法并根...
该专利属于南京大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京大学授权不得商用。

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