下载一种提高光学薄膜元件抗激光损伤能力的方法的技术资料

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本发明提供了一种提高光学薄膜元件抗激光损伤能力的方法,包括:首先获得光学薄膜元件的功能性损伤阈值;之后进行光学薄膜元件的覆层处理和激光诱导等离子体冲击后处理:获得经过不同扫描参数激光诱导离子体后处理作用后的所有薄膜元件功能性损伤阈值;选择其...
该专利属于温州大学所有,仅供学习研究参考,未经过温州大学授权不得商用。

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