下载一种半导体材料瞬态折射率超快检测装置及方法的技术资料

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本发明一种半导体材料瞬态折射率超快检测装置及方法,解决现有半导体折射率变化测量方法,无法满足对脉冲入射及脉冲响应特性检测需求的问题。该装置包括高功率脉冲激光器、第一分束镜、脉冲X射线激励单元、探针光调控单元、第二分束镜及信号读出单元;第一分...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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