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减蚀剂补充系统技术方案
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文档序号:2499327
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一种在线减蚀剂补充系统,它可用在一种吸收式冷却单元中,该单元包括一蒸发器装置、一吸收器装置、一发生器装置和一冷凝器装置,它们相互联系以提供一种吸收式循环,溴化锂溶液可通过一系列相互联系的流线和泵通过所述单元进行循环。一种定时放出减蚀剂的供源...
该专利属于开利公司所有,仅供学习研究参考,未经过开利公司授权不得商用。
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