下载一种钨表面阻氧膜及其制备方法的技术资料

文档序号:24989513

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本发明公开了一种钨表面阻氧膜,包括钨基体,钨基体表面镀有复合膜层,复合膜层依次为铝层、第一氮化铬铝层、铬层、第二氮化铬铝层,复合膜层的底层为铝层,复合膜层的顶层为第二氮化铬铝层。本发明还公开了该阻氧膜的制备方法,首先,将钨基体表面打磨、抛光...
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