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本实用新型公开了一种宽范围残余气体分析系统，其包括前级泵、分子泵、质谱仪、多功能进样器、电源、控制阀组，所述前级泵和分子泵连接，分子泵和质谱仪连接，多功能进样器安装在质谱仪上，电源分别与控制阀组和前级泵电性连接，控制阀组与多功能进样器连接。...
该专利属于四川宏胜杰机电设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川宏胜杰机电设备有限公司授权不得商用。

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