温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种微流体致动器的制造方法，包含以下步骤：提供第一基板沉积腔体层；腔体层沉积蚀刻振动层；振动层沉积蚀刻第一金属层；第一金属层沉积蚀刻压电致动层；压电致动层沉积蚀刻隔离层；隔离层涂布显影第一光阻层；第一光阻层沉积掀离第二金属层；第二金属层镀膜...
该专利属于研能科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过研能科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。